máy cmm gồm 4 phần chính:
Thân máy
Đầu đo
Hệ thống điều khiển
Phần mềm đo lường.
Có nhiều loại đầu đo được sử dụng trong máy đo tọa độ CMM. Bao gồm:
Đầu dò cơ khí (mechanical)
Đầu dò quang (optical)
Đầu dò laser (laser)
Đầu dò ánh sáng trắng (white light).
Máy đo 3 chiều CMM thường dùng để xác định vị trí của đầu dò về mặt chuyển vị từ một vị trí tham chiếu trong một hệ trục tọa độ đề các (X, Y, Z).
Xem thêm: smartzoom 5
Ngoài việc dịch chuyển đầu dò theo các trục X, Y, Z thì nhiều dòng máy cũng cho phép đầu dò có thể bẻ góc để chạm tới các bề mặt khó tiếp cận.